Laser-assisted grinding of Silicon Nitride by picosecond laser

Berichte aus der Fertigungstechnik

Soltani, Babak

Shaker

Technik

Erschienen am 01.09.2022, Auflage: 1. Auflage

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Bibliografische Daten

ISBN/EAN: 9783844087475

Sprache: Englisch

Umfang: 178

Beschreibung

Siliziumnitrid (Si3N4) ist ein ein Hochleistungskeramikmaterial mit außergewöhnlichen mechanischen, thermischen und chemischen Eigenschaften. Trotz aller Vorteile wurde der Einsatz von Si3N4 durch die hohen Bearbeitungs- und Nachbearbeitungskosten erschwert. Hier wurde ein neuartiges lasergestütztes Schleifverfahren entwickelt, um die Materialabtragsraten beim Schleifen von Si3N4 zu erhöhen.

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